EVS Probe Card

產品概要：

EVS探針卡是對傳統bucklingbeam探針卡的增強。主要特點是更高的載流能力(C.C.C.)和更低的平衡接觸力(BCF)，以及整體的MEMS特性。

基本信息：

EVS可以輕松滿足先進晶圓探測的要求，精確對準和良好的平面度控制是穩定接觸電阻的關鍵因素，憑借其容量和性能，EVS 是高級探卡的理想選擇。

技術優勢：

1、類MEMS特性，具有平頭和尖頭兩種，較小的針痕

2、對80um以上的pitch更理想

3、平面接觸力比常規屈曲梁低50%

4、載流能力比常規屈曲梁高40%

5、更長的葉尖長度有助于延長使用壽命

6、與MPl內部基板兼容

應用方向：

主要應用于先進晶圓探測。

EVS Probe Card

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