探針臺系統TS2000-DP Probe System特點與優勢返回列表
TS2000-DP是MPI提供一套多功能且經濟高效的8寸半自動高功率測試探針臺，可在20°C至300°C的溫度范圍內進行晶圓載片上高功率應用的測量，且測量能力高達3kV(三軸)/10kV(同軸)和600A(脈沖)。
探針卡和微型定位器
TS2000-DP可提供最高12倍的高壓(最高3kV三軸或10kV同軸)或4倍的多手指高電流(最高400A的微型定位器)。
其具有的大量單探頭，專用于防電弧高功率探針卡的的探針卡夾，使得該系統成為高功率設備特性測量的理想選擇。
防電弧技術
該系統配備了ArcShield™，可防止卡盤和探針壓板之間發生任何可能的電弧。
防電弧探針卡具有在DUT周圍施加高壓的能力，并且可以使用帕申定律來防止焊盤之間產生電弧。
特別設計的防電弧LiquidTray™只需將其放在高功率卡盤表面即可用于抑制電弧。晶圓可以安全地放置在托盤內，以浸沒在液體中進行無電弧高壓測試。
此卡盤可在300°C最高可達10kV(同軸)。
儀器集成
TS2000-DP可以配置多種儀器連接套件，其中包括必要的高壓/大電流探頭和電纜附件，以便與測試儀器進行出色的連接，例如Keysight B15005(3kV或10kV)，包括集成的模塊選擇器或Keithley 2600-PCT-XB，以及集成的8020高功率接口面板。
軟件套件SENTIO®
MPI自動工程探針系統由獨特的、革命性的多點觸摸操作控制SENTIO®軟件套件——簡單直觀的操作節省了大量的培訓時間。“滾動”，“縮放”，“移動”命令模仿了現代智能移動設備，使每個人都可以在短短幾分鐘內成為專家。在活動應用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。
對于RF應用，無需切換到另一個軟件平臺——MPI RF校準軟件程序QAlibria®與SENTIO®完全集成，為了遵循單一操作概念方法而易于使用。
