半自動晶圓級探針臺系統TS3000-SE的詳細介紹返回列表

TS3000-SE是TS3000探針臺系統的升級開發，該系統配備了MPI ShielDEnvironment™，可實現超低噪聲，滿足設備的需求表征，晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應用。

優勢：

適用于多種晶圓量測應用

• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性測試 - 精確的壓力測試

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境，以得到出色的 1/f 超低噪測試結果

• 支援 fA 級超低噪 IV 量測

• 可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作

• 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C

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